微新创想：2026年3月19日，HORIBA在SEMICON China 2026展会期间首次全面展示收购韩国EtaMax后的整合检测方案。该方案融合HORIBA先进光谱技术与EtaMax量产检测能力，覆盖“从Lab到Fab”全链条。
微新创想：首台搭载HORIBA光谱技术的EtaMax样机将于2026年下半年部署至上海嘉定厚立方（C-CUBE）。这一部署标志着HORIBA在化合物半导体检测领域的深入布局和技术落地。
微新创想：EtaMax同步推出PLATO系列、MiPLATO-SiC系统及PLIMA-LED系列三大平台，针对性解决不同工艺节点量产检测痛点。这些平台不仅提升了检测效率，还增强了检测精度，满足了多样化的生产需求。
微新创想：此次整合旨在强化化合物半导体领域量产量测能力。通过技术与资源的深度融合，HORIBA与EtaMax共同打造了更全面、更高效的检测解决方案，为行业提供强有力的支持。