1月29日,中国科学院新疆理化研究所潘世烈团队传来重大突破,成功研制出氟化硼酸铵(ABF)晶体,并成功攻克了大尺寸晶体生长与器件加工的核心难题。这一创新成果不仅标志着我国在真空紫外激光技术领域取得重大进展,更通过采用国际前沿的双折射相位匹配技术,实现了直接倍频真空紫外激光158.9nm输出的历史性跨越。该技术突破由北京相关科研机构完成全面验证,其重要意义在于为精密制造、先进光刻技术以及基础物理研究等前沿科学领域提供强有力的技术支撑。
ABF晶体作为一种全固态、紧凑型的真空紫外激光材料,其成功研制为激光技术发展开辟了全新路径。这一突破性进展彻底打破了我国长期依赖进口气体激光器或依赖同步辐射光源的局面,实现了关键核心材料的自主可控。据悉,该晶体材料具有优异的光学特性,能够有效提升激光器的稳定性和效率,为下一代半导体光刻、生物医疗成像等高科技产业提供重要技术基础。此次研究成果不仅展现了我国在材料科学领域的创新能力,更为未来真空紫外激光技术的产业化应用奠定了坚实基础。
